總投資約10億元！半導(dǎo)體用碳化硅部件國產(chǎn)化再提速！

8月27日，湖南德智新材料有限公司（以下簡稱“德智新材”）半導(dǎo)體用SiC部件材料研發(fā)制造基地項目正式簽約落戶無錫惠山經(jīng)開區(qū)。

據(jù)悉，德智新材在惠山經(jīng)開區(qū)注冊成立了無錫德智半導(dǎo)體材料有限公司和子公司。無錫德智半導(dǎo)體材料有限公司計劃總投資約10億元，通過購置自動化、智能化程度較高的生產(chǎn)檢測設(shè)備，建立20條集成電路外延用零部件生產(chǎn)線、5條碳化鉭涂層生產(chǎn)線，同時建設(shè)一流的半導(dǎo)體科研實驗室，打造研發(fā)制造基地，項目預(yù)計5年內(nèi)全面達產(chǎn)。子公司作為配套企業(yè)，將在新基地項目建設(shè)期間同步開展業(yè)務(wù)。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是構(gòu)建我國戰(zhàn)略科技力量的核心支撐產(chǎn)業(yè)，而半導(dǎo)體零部件則是決定我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域。一般而言，半導(dǎo)體設(shè)備零部件占設(shè)備總支出的70%左右，以刻蝕機為例，主要關(guān)鍵部件占設(shè)備總成本的85%。   精密陶瓷部件是最具有代表性的半導(dǎo)體設(shè)備零部件材料，在化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、離子注入、刻蝕等一系列半導(dǎo)體主要制造環(huán)節(jié)均有重要應(yīng)用。

其中，碳化硅陶瓷具有高的彈性模量和比剛度，不易變形，并且具有較高的導(dǎo)熱系數(shù)和低的熱膨脹系數(shù)，熱穩(wěn)定性高，因此碳化硅陶瓷作為一種優(yōu)良的結(jié)構(gòu)材料在半導(dǎo)體設(shè)備中有廣泛的應(yīng)用。例如在研磨拋光吸盤、光刻吸盤、檢測吸盤、精密運動平臺、刻蝕環(huán)節(jié)的高純碳化硅部件、封裝檢測環(huán)節(jié)中精密運動系統(tǒng)等等，作用極其重要。

半導(dǎo)體設(shè)備零部件及關(guān)鍵耗材供應(yīng)鏈不完善是當下中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)屢遭“卡脖子”重要原因。作為半導(dǎo)體加工環(huán)節(jié)的關(guān)鍵耗材提供商，此次德智新材在碳化硅部件技術(shù)與產(chǎn)業(yè)上的進一步突破對我國整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)安全發(fā)展具有重要意義。

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